Fotric 226熱像儀應(yīng)用于TCO薄膜通電測試

1、背景概述

TCO薄膜是一類特殊材料和工藝的鍍膜，它主要應(yīng)用于平板顯示器和建筑兩大領(lǐng)域。與其他類型的導(dǎo)電薄膜相比，氧化物透明導(dǎo)電膜不僅導(dǎo)電性好，而且還像玻璃一樣具有高的透明性，所以，可以把它看作一種用途十分廣泛的特征功能薄膜。

這種氧化物透明導(dǎo)電薄膜用途十分廣泛，它的主要用途有：

1. 顯示器件中的電極材料。

2. 防靜電，防電磁屏蔽層。為了防止靜電，必須使方阻小于109Ω。

3. 面發(fā)熱體。SnO2薄膜的電熱轉(zhuǎn)換效率在90%以上，通電后立即產(chǎn)生熱效應(yīng)。

4. 熱反射膜。SnO2和ITO薄膜在紅外部分的反射率可達到80%以上。

5. 太陽能電池。(1) SIS異質(zhì)結(jié)太陽能電池；(2) 太陽能電池的減反射膜。

6. 薄膜電阻器。

7. 氣敏傳感器。現(xiàn)已能探測甲烷，CO、CO2、H2、H2S、乙醇等多種氣體和煙塵。

8. 終端設(shè)備。用透明導(dǎo)電薄膜制作薄膜開關(guān)。

9. 汽車玻璃。

用Fotric 226-2套裝進行測試（配備50μm微距鏡頭）

TCO薄膜的主要技術(shù)指標(biāo)有光譜透過率、導(dǎo)電性能、霧度以及激光刻蝕性能。其中，在薄膜電池的制作過程中，需要將表面劃分成多個長條狀的電池組，這些電池組被串聯(lián)起來用以提高輸出能效。因此，TCO玻璃在鍍半導(dǎo)體膜之前，必須要對表面的導(dǎo)電膜進行刻劃，被刻蝕掉的部分必須完全除去氧化物導(dǎo)電膜層，以保持絕緣。刻蝕方法目前有化學(xué)刻蝕和激光刻蝕兩種，但由于刻蝕的線條要求很細，一般為幾十微米的寬度，而激光刻蝕具有溝槽均勻，剔除干凈，生產(chǎn)效率快的特點。

2、客戶需要解決什么問題

l 研發(fā)人員需要驗證這類薄膜的印刷質(zhì)量和刻蝕工藝

l 是否存在斷裂、粘連等問題

其中白框內(nèi)兩線間距為50微米

3、當(dāng)前有哪些解決方案及其弊端

對TCO薄膜通電，測試刻蝕質(zhì)量。采用測試溫度的方式測量，如果出現(xiàn)粘連或斷裂會出現(xiàn)不同的溫度變化。

熱電偶與數(shù)采

使用熱電偶測溫準(zhǔn)確，但是由于電池組較細，而且間距只有50微米寬，沒有辦法很好的粘貼
熱線偶可能會導(dǎo)致通電時電路

只能測量點或幾個點的溫度，沒有辦法找到整個薄膜上刻蝕的線斷裂部位或短路部位

破壞了器件本身的熱場分布，尤其是小尺寸元器件；

熱電偶有溫度慣性，采集的溫度和實際溫度有滯后；

紅外測溫槍

紅外測溫槍使用方便，但問題也很多：

沒有辦法精確找到測量的部位，不能同時測試多個點；

不能直觀看到問題點；

被測部位很小，溫度會被平均；

4、Fotric產(chǎn)品如何幫助客戶解決該問題及優(yōu)勢

l 對TCO薄膜通電，然后采用Fotric 226搭配50微米微距鏡觀看溫度變化，如果出現(xiàn)粘連可以看到高溫點，如果出現(xiàn)斷裂會有線路溫度較低。